提供CX-PRN系列皮拉尼真空計,涵蓋手持式、數顯、單/雙路等多種型號。基于熱導原理,測量范圍寬達0.1~1E+5Pa,響應快、功耗低,適用于中低真空環境的精確測量與監控。
測量范圍覆蓋1.0×10?1 Pa 至 1.0×10? Pa(空氣/N?),適用于多種真空工藝段。
同時提供RS485(Modbus RTU)數字通訊與2.286V~10.0V模擬量輸出,方便系統集成。
探頭可承受最高150°C烘烤(金屬法蘭型可達250°C),適用于需要高溫烘烤的真空系統。
配備頂部校準按鈕,可在大氣壓或高真空條件下進行快速自動校準,操作簡便。
CX-PRN10皮拉尼真空計采用皮拉尼(熱導)測量原理,適用于干燥空氣或氮氣環境下的中低真空度測量。該產品結構緊湊,安裝方便,提供模擬量與數字量雙重輸出,可便捷地集成到各類真空控制系統、PLC或上位機軟件中。
覆蓋從低真空(100Pa)至中真空(0.1Pa)的廣泛量程,滿足大多數工業真空應用需求。
響應時間約100毫秒,能及時反映真空系統的壓力變化。
同時具備線性模擬電壓輸出與標準Modbus RTU數字通訊,提供靈活的集成方案。
皮拉尼真空計基于氣體熱導率隨壓力變化的原理工作。規管內的加熱燈絲在真空環境中散熱條件發生變化,通過測量燈絲電阻或溫度的變化,即可計算出對應的氣體壓力。該原理對于氮氣、干燥空氣等常見氣體具有良好的測量一致性。
產品支持一鍵式大氣壓與高真空零點校準。校準時需確保真空計處于穩定的校準環境(大氣或低于5.0×10?2 Pa的高真空),按住頂部校準按鈕超過3秒,LED指示燈閃爍三次即表示校準完成。
注意: 出廠時已使用干燥空氣/氮氣進行校準。若測量其他氣體,讀數需根據氣體種類進行換算。
PRN10通過一個FCC-68型8針接口進行供電與信號連接。
| 針腳號 | 定義 | 說明 |
|---|---|---|
| 1 | +24VDC | 電源正極(5-24VDC) |
| 2 | 電源GND | 電源負極 |
| 3 | 測量信號 | 模擬電壓輸出(2.286-10.0V) |
| 4 | 27KΩ 識別電阻 | 真空計識別 |
| 5 | 信號地 | 模擬輸出參考地 |
| 6 | 空腳 | 保留未用 |
| 7 | RS485 Data- (B) | Modbus數據負線 |
| 8 | RS485 Data+ (A) | Modbus數據正線 |
模擬輸出電壓(U)與壓力(P)呈對數關系:
U = c + 1.286 × lg(P) 或 P = 10(U - c)/1.286
其中常數 c 取決于壓力單位:Pa(c=3.572),mBar(c=6.143),Torr(c=6.304)。
PRN10支持標準Modbus RTU協議,方便與PLC、工控機或真空控制器(如WGC150)集成。
波特率:9600 bps
數據位:8
停止位:1
校驗位:無
默認地址:01(可通過GaugeReader 3.0軟件修改)
| 寄存器地址 | 長度 | 內容描述 |
|---|---|---|
| 01 | 2字 | 規管1真空度(科學計數法ASCII格式) |
| 11 | 2字 | 規管1真空度(32位浮點數格式) |
| 41 | 1字 | 校準命令寄存器(寫1:規管1大氣校準;寫2:規管1零點校準) |
注意: 具體功能取決于實際產品配置,編程時請參考完整協議文檔。
PRN10系列皮拉尼真空計提供標準配置,同時支持多種定制選項,滿足不同真空系統的連接和功能需求。
| 型號 | 連接法蘭 | 信號輸出 | 供電范圍 | 校準方式 | 防護等級 |
|---|---|---|---|---|---|
| CX-PRN10-KF16 | DN16 ISO-KF | RS4850-10V | 5-24VDC | 按鍵校準 | IP40 |
| CX-PRN10-CF35 | DN35 CF | RS4854-20mA | 24VDC | 按鍵校準 | IP40 |
| CX-PRN10-KF16-M | DN16 ISO-KF | RS485 | 5-24VDC | 軟件校準 | IP40 |
| CX-PRN10-KF16-A | DN16 ISO-KF | 0-10V | 5-24VDC | 按鍵校準 | IP40 |
| CX-PRN10-KF40 | DN40 ISO-KF | RS4850-10V | 5-24VDC | 按鍵校準 | IP40 |
注:以上為常用標準型號,我們可根據客戶需求提供定制化服務,包括特殊法蘭接口、輸出信號類型、供電電壓等。
PRN10系列支持多種真空法蘭連接方式,適應不同真空系統的安裝需求:
| 法蘭類型 | 標準尺寸 | 密封方式 | 適用壓力范圍 | 應用場景 |
|---|---|---|---|---|
| ISO-KF | DN16, DN25, DN40 | 彈性體密封圈 | 10?1 ~ 10? Pa | 中小型真空系統,實驗室設備 |
| CF法蘭 | DN35, DN50 | 金屬密封(銅墊圈) | 10?? ~ 10? Pa | 高真空、超高真空系統 |
| 螺紋接口 | G1/4", G3/8" | 錐面密封或墊圈 | 10?1 ~ 10? Pa | 小型設備,空間受限場合 |
| 快卸法蘭 | 定制尺寸 | 彈性體密封圈 | 10?1 ~ 10? Pa | 需要頻繁拆卸的系統 |
根據不同控制系統需求,PRN10系列提供多種信號輸出方式:
| 信號類型 | 輸出范圍 | 精度 | 負載能力 | 通訊協議 |
|---|---|---|---|---|
| 模擬電壓 | 2.286 ~ 10.0 VDC | ±2.5 mV | 最小10Ω | - |
| 模擬電流 | 4 ~ 20 mA | ±0.1% FS | 最大500Ω | - |
| 數字通訊 | RS485電平 | - | 32個節點 | Modbus RTU |
| 開關量輸出 | 繼電器觸點 | - | 30VDC/1A | - |
根據不同應用環境和介質特性,PRN10系列提供多種接觸介質材質選擇:
| 材質代碼 | 材質名稱 | 特性 | 適用環境 |
|---|---|---|---|
| SS304 | 304不銹鋼 | 良好的耐腐蝕性,經濟實用 | 一般工業環境,非腐蝕性氣體 |
| SS316L | 316L不銹鋼 | 優異的耐腐蝕性,低碳含量 | 腐蝕性環境,高純度應用 |
| AL | 鋁合金 | 輕量化,導熱性好 | 對重量敏感的應用 |
| Kovar | 可伐合金4J50 | 與玻璃匹配封接,低熱膨脹 | 需要玻璃-金屬封接的場合 |
選擇合適的PRN10型號時,請參考以下應用建議:
| 應用場景 | 推薦型號 | 主要理由 |
|---|---|---|
| 實驗室真空系統 | CX-PRN10-KF16 | 標準配置,性價比高,兼容大多數實驗室設備 |
| 半導體工藝設備 | CX-PRN10-CF35 | CF法蘭,適合高真空環境,減少污染 |
| 工業過程控制 | CX-PRN10-KF16-M | Modbus通訊,便于集成到PLC/DCS系統 |
| 簡單監測應用 | CX-PRN10-KF16-A | 模擬量輸出,接線簡單,成本較低 |
| 較大流量系統 | CX-PRN10-KF40 | 大尺寸法蘭,減少流阻,提高響應速度 |
溫馨提示:如果您不確定如何選擇合適的型號,我們的技術團隊可以提供免費的選型咨詢服務。請提供您的應用場景、真空范圍、安裝接口和控制系統類型等信息。
| 測量范圍 | 0.1~1E+5Pa |
|---|---|
| 重量 | 150g |
| 防護等級 | IP40 |
| 最大耐壓 | 1.5×10? Pa |
| 響應時間 | 100 ms |
| 精度 | 1.0×10?1 ~ 1.0×10? Pa:±30% 1.0×10? ~ 1.0×10? Pa:±20% 1.0×10? ~ 1.0×10? Pa:±50% |
| 重復性 | 1.0×10?1 ~ 1.0×103 Pa:±2% 1.0×103 ~ 1.0×10? Pa:±5% |
| 供電電源 | +5VDC 至 +24VDC / 0.5A(通過RJ45接口 |
| 最大功耗 | 1.5W |
| 防護等級 | IP40(IEC 529) |
| 連接法蘭 | 默認:DN 16 ISO-KF(可根據需求定制) |
| 接觸介質材質 | SS304, SS316L, Kovar 4J50,燈絲,饋通玻璃 |
注:以上參數為標準配置,可根據客戶需求定制特殊規格產品。
PRN10皮拉尼真空計適用于多種需要監測中低真空環境的工業與科研場合。
用于PVD/CVD、刻蝕、離子注入等設備的工藝腔室壓力監控。
凍干機、真空干燥箱、滅菌柜等設備的真空度測量與控制。
真空蒸餾、過濾、脫氣等化工過程的壓力監測。
電池注液、真空封裝等工序的真空環境保障。
真空手套箱、實驗型鍍膜機、真空爐等科研設備的壓力測量。
真空包裝機、真空浸漬設備、真空熱處理爐的配套監控。
我們的工程師將在24小時內聯系您,提供專業的產品選型建議和技術支持