壓電與皮拉尼復合設計，測量范圍從大氣壓到高真空（5.0×10?2 ~ 1.5×10? Pa）
響應時間 ≤100 ms，適用于動態真空控制場合
支持兩個獨立可設定控制點，提供光耦或邏輯電平輸出可選
內置溫度補償，提升測量穩定性
CX-PRN11 是一款集成了 MEMS 壓電傳感器與皮拉尼傳感器的復合寬量程真空計。該產品適用于從大氣壓到高真空（0.05 Pa）的連續測量，具備高精度、快速響應和良好的重復性，專為真空鎖控制、連續真空工藝設備等應用場景設計。
壓電與皮拉尼傳感器在測量上實現無縫切換，覆蓋寬泛的真空度范圍。
支持兩個獨立控制點，可通過軟件設定并輸出開關信號。
支持 RS485（Modbus-RTU）通訊與模擬電壓輸出，方便系統集成。
CX-PRN11 通過 MEMS 壓電傳感器測量較高壓力段（大氣壓至中真空），通過皮拉尼傳感器測量中低真空段。兩種傳感器信號經內部電路融合處理，實現全量程連續輸出。
| 引腳 | 信號 | 說明 |
|---|---|---|
| 1 | 電源 GND | 供電接地 |
| 2 | 設定值輸出 A | 控制點 A 輸出 |
| 3 | 設定值輸出 B | 控制點 B 輸出 |
| 4 | 模擬量輸出 | 0.0 ~ +10.3 VDC，對應真空度 |
| 5 | RS485 D- (B) | Modbus 通訊線 |
| 8 | 模擬量參考地 | 模擬輸出參考地 |
輸出電壓 U（單位 V）與壓力 P（單位 Pa）的換算公式：
P = 10 ^ ((U - C) / 1.286)，其中 C 為常數，與單位相關：
CX-PRN11壓電皮拉尼復合寬量程真空計提供多種配置選項，用戶可根據具體應用需求選擇不同的真空接口、通訊方式和控制點輸出類型。
CX-PRN11的型號由基礎型號和三位配置代碼組成：
| 配置類型 | 代碼 | 說明 | 適用場景 |
|---|---|---|---|
| 真空接口 | A | KF16 (DN 16 ISO-KF) | 標準實驗室系統 |
| B | KF25 (DN 25 ISO-KF) | 中等流量真空系統 | |
| C | 1/8" NPT | 北美標準系統 | |
| D | VCR4 | 超高潔凈系統（半導體） | |
| E | VCR8 | 大流量超高潔凈系統 | |
| 數字通訊 | 0 | 無數字通訊 | 僅模擬輸出應用 |
| 1 | RS485 (Modbus-RTU) | 工業自動化集成 | |
| 控制點輸出 | 00 | 無控制開關 | 僅監測應用 |
| 01 | 標配光耦開關 | 通用控制應用 | |
| 02 | 標配邏輯電平 | PLC直接接口 | |
| XX | 客戶定制模式 | 特殊應用需求 |
| 型號 | 真空接口 | 通訊方式 | 控制點輸出 | 典型應用 |
|---|---|---|---|---|
| CX-PRN11 A01 | KF16 | RS485 | 光耦開關 | 標準實驗室真空系統 |
| CX-PRN11 B01 | KF25 | RS485 | 光耦開關 | 中等流量工業系統 |
| CX-PRN11 C02 | 1/8" NPT | RS485 | 邏輯電平 | 北美標準工業系統 |
| CX-PRN11 D01 | VCR4 | RS485 | 光耦開關 | 半導體真空鎖 |
| CX-PRN11 A00 | KF16 | RS485 | 無控制開關 | 純監測應用 |
CX-PRN11真空計的接液部分提供多種材質選項，以適應不同介質和工藝環境：
| 材質 | 材質名稱 | 特性 | 適用介質 |
|---|---|---|---|
| SS304 | 304不銹鋼 | 標準耐腐蝕、經濟實用 | 一般工業氣體、干燥空氣 |
| SS316L | 316L不銹鋼 | 高耐腐蝕性、低碳含量 | 腐蝕性氣體、化學蒸氣 |
| 可伐合金 | 鐵鎳鈷合金 | 低熱膨脹、玻璃封接 | 高溫應用、特種玻璃系統 |
| 鎢燈絲 | 鎢材料 | 高溫穩定性好 | 高真空、高溫環境 |
| 玻璃 | 硼硅玻璃 | 高潔凈、透明可視 | 實驗室、光學系統 |
選擇適合的CX-PRN11型號時，請考慮以下因素：
| 應用場景 | 推薦型號配置 | 理由 |
|---|---|---|
| 實驗室真空系統 | CX-PRN11 A01 (SS316L) | 標準KF接口，RS485通訊，光耦控制點，316L材質耐腐蝕 |
| 半導體真空鎖 | CX-PRN11 D01 (SS316L) | VCR4超高潔凈接口，適用于半導體制造環境 |
| 工業過程控制 | CX-PRN11 C02 (SS304) | NPT接口，邏輯電平輸出，便于PLC直接控制 |
| 科研高真空系統 | CX-PRN11 A01 (可伐合金) | 可伐合金材質適合高溫和玻璃封接應用 |
| 僅監測無控制 | CX-PRN11 A00 | 無控制開關，僅用于真空度監測和數據采集 |
溫馨提示：以上型號為常見配置示例，上海瓷熙儀器儀表有限公司支持定制化配置服務。如果您有特殊需求，如特殊接口、定制通訊協議或其他特殊要求，請聯系我們的技術團隊獲取定制化解決方案。
| 重復性 | ±1% |
|---|---|
| 環境溫度 | 0~50℃ |
| 真空接口 | KF16 |
| 測量范圍 | 5.0×10?2~1.5×10?Pa |
| 響應時間 | ≤100 ms |
| 精度 | 3.0×103 ~ 1.5×10? Pa: ±1% 讀數（MEMS壓阻段） 1.0×10? ~ 3.0×103 Pa: ±15% 讀數（皮拉尼段） 5.0×10?2 ~ 1.0×10? Pa: ±20% 讀數（皮拉尼段） |
| 最大耐壓 | 2.0×10? Pa（絕對壓力） |
| 信號輸出 | RS485 Modbus-RTU（默認 9600 bps） 模擬電壓 0.0 ~ +10.3 VDC 雙控制點輸出（光耦或邏輯電平可選） |
| 供電電壓 | +16VDC ~ +30VDC，功耗 ≤1.5W |
| 接觸真空材質 | SS304, SS316L，可伐合金，鎢燈絲，玻璃 |
注：以上參數為標準配置，可根據客戶需求定制特殊規格產品。
CX-PRN11 適用于各類需要寬量程、快速響應真空度監測與控制的工業與科研場合。
真空鎖（Loadlock）壓力監測、PVD/CVD 設備真空控制
高真空系統、冷凍干燥、材料表面分析設備
真空爐、真空釬焊、真空封裝、真空浸漬
真空滅菌設備、呼吸治療設備真空監測
薄膜太陽能電池、OLED 鍍膜設備真空度控制
機器人真空抓手、自動化真空搬運系統
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