采用熱式原理設計和傳感技術，確保流量測量精度高達±0.5%
零漂小，可靠性高，適用于各種氣體介質
毫秒級響應速度，實時監測流量變化
小巧體積，節省安裝空間，適合各種設備集成
高精度氣體質量流量計/控制器由質量流量傳感器、層流分層件、流量控制器調節閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。
準確度±0.5%F.S，線性±0.5%F.S，重復精度±0.2%F.S
控制器響應時間<0.25s，流量計響應時間<0.15s
高分辨率LCD觸摸屏，直觀操作，界面友好
氣體質量流量控制器卓越的精度、堅固性及可靠性源于獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩個傳感元件組成——流量傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將流量傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。
質量流量控制器、質量流量計出廠時一般用空氣或者氮氣標定，實際使用中如果是其他氣體，必要時可進行讀數修正，方法是以流量顯示儀顯示的流量乘以流量轉換系數。
| 氣體 | 代號 | 轉換系數 | 氣體 | 代號 | 轉換系數 |
|---|---|---|---|---|---|
| 空氣 | 008 | 1.006 | 氮氣 | 001 | 1.415 |
| 氬氣 | 004 | 1.415 | 氮氣 | 013 | 1.000 |
| 氧氣 | 015 | 0.992 | 氫氣 | 007 | 1.010 |
| 二氧化碳 | 025 | 0.737 | 甲烷 | 028 | 0.719 |
| 氨氣 | 029 | 0.719 | 氦氣 | 002 | 1.415 |
注：以上為部分常用氣體的轉換系數，完整的氣體轉換系數表請參考產品說明書。對于混合氣體，其轉換系數需按特定公式計算。
觸摸屏氣體質量流量控制器提供多種型號，滿足不同應用場景的需求：
| 量程類型 | 型號代碼 | 量程范圍 | 精度 | 接頭類型 |
|---|---|---|---|---|
| 低量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F1 | 0 ~ 100SCCM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 低量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F2 | 100SCCM ~ 30SLM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 中量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F3 | 30SLM ~ 150SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 中量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F4 | 150SLM ~ 300SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 大量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F5 | 300SLM ~ 1000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
| 大量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F6 | 1000SLM ~ 2000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
| 大量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F7 | 2000SLM ~ 3000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
觸摸屏氣體質量流量計提供多種型號，滿足不同應用場景的需求：
| 量程類型 | 型號代碼 | 量程范圍 | 精度 | 接頭類型 |
|---|---|---|---|---|
| 低量程流量計 | CX-GMFM-CP-F1 | 0 ~ 100SCCM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 低量程流量計 | CX-GMFM-CP-F2 | 100SCCM ~ 30SLM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 中量程流量計 | CX-GMFM-CP-F3 | 30SLM ~ 150SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 中量程流量計 | CX-GMFM-CP-F4 | 150SLM ~ 300SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 大量程流量計 | CX-GMFM-CP-F5 | 300SLM ~ 1000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
| 大量程流量計 | CX-GMFM-CP-F6 | 1000SLM ~ 2000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
| 大量程流量計 | CX-GMFM-CP-F7 | 2000SLM ~ 3000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
注：以上為標準型號，可根據客戶需求定制特殊量程、精度、接口和材質。所有產品出廠通常用氮氣(N?)標定，如需要使用其他氣體標定，請在訂貨時說明。標準狀態規定為：溫度---273.15K (0℃); 氣壓---101325 Pa (760mm Hg)。
選擇適合的觸摸屏氣體質量流量計/控制器時，請考慮以下因素：
| 考慮因素 | 選擇要點 | 建議 |
|---|---|---|
| 流量范圍 | 根據實際應用的最大和最小流量確定 | 選擇量程比實際最大流量稍大的型號 |
| 氣體類型 | 氣體種類，腐蝕性或非腐蝕性 | 根據氣體選擇相應的密封材料和轉換系數 |
| 控制需求 | 只需測量還是需要控制 | 測量選擇M(流量計)，控制選擇C(控制器) |
| 壓力條件 | 工作壓差和最大耐壓 | 確保產品耐壓高于系統最大壓力 |
| 信號輸出 | 模擬量或數字量接口 | 根據控制系統要求選擇 |
| 安裝環境 | 空間限制，操作便利性 | 觸摸屏便于現場操作和監控 |
溫馨提示：使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時加裝過濾器，如果流量控制器出口接有液體源瓶，應在流量控制器出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量控制器。如果您不確定如何選擇合適的型號，我們的技術團隊可以提供免費的選型咨詢服務。
| 測量精度 | ±0.5%F.S |
|---|---|
| 工作溫度 | 0 ～ 50℃ |
| 流量范圍 | 0~3000SLM |
| 測控范圍 | 控制器閥控范圍 50：1 流量計量程比 100：1 |
| 數字量 | RS232/485，MODBUS 協議 |
| 模擬量 | 0 ～ 5V、4-20mA、1 ～ 5V |
| 最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
| 電氣連接 | DB9、RJ11、5.5×2.1電源快插 |
| 漏率 | 1×10-9SCCSHe |
| 底座材質 | 316L |
| 密封材質 | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠 |
| 接頭 | φ3，φ6，1/8"，1/4" |
注：以上參數為標準配置，可根據客戶需求定制特殊規格產品。
高精度氣體質量流量計/控制器廣泛應用于各種工業領域，特別適合需要精密氣體流量測量和控制的場合。
用于擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入等工藝
用于化工過程控制、反應釜加注、混氣配氣系統
用于制藥過程中氣體流量精密控制和監測
用于環境監測、廢氣處理系統中的氣體流量測量
用于實驗室研究、分析儀器、氣相色譜儀等
用于真空鍍膜、真空爐等設備中的氣體流量控制
用于太陽能電池板制造過程中的氣體流量精確控制
用于呼吸機、麻醉機等醫療設備中的氣體輸送控制
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