集成皮拉尼與熱陰極技術，量程覆蓋 1.0×10?? Pa 至 1.0×10? Pa
提供兩路獨立可設定的控制開關，支持真空度閾值控制
支持模擬電壓輸出、RS485 Modbus-RTU 通訊
5位LED數字顯示，單位可選，支持按鍵設置參數與校準
CX-PRN15 是一款集成皮拉尼（Pirani）與熱陰極（Hot Cathode）技術的寬量程真空計，適用于從高真空到低真空的連續測量。該產品具備獨立的真空計功能，帶有5位LED數字顯示，支持按鍵設置參數、兩路可設置控制開關、模擬電壓輸出及RS485通訊（Modbus-RTU協議）。
集成皮拉尼（1.0×10? ~ 1.0×10? Pa）與熱陰極（1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa）技術，實現寬范圍連續測量。
提供兩路獨立可設置的控制開關，可通過按鍵或通訊設置切換點，適用于真空系統自動控制。
支持模擬電壓輸出（0-10 VDC）、RS485 Modbus-RTU 通訊。
CX-PRN15 采用皮拉尼與熱陰極復合傳感器技術。皮拉尼部分基于熱傳導原理，適用于中低真空測量；熱陰極部分基于電離原理，適用于高真空測量。兩者通過智能算法自動切換，實現全量程連續測量。
D-Sub 9針母頭焊接側引腳定義如下：
| 引腳 | 信號 | 說明 |
|---|---|---|
| 1 | 電源 GND | 電源地 |
| 2 | 電源 +24VDC | 直流24V正極 |
| 3 | 模擬量 GND | 模擬輸出地 |
| 4 | 模擬量輸出 | 真空度對應電壓輸出（0-10 VDC） |
| 5 | 控制點輸出 A | 控制開關A輸出 |
| 6 | 控制點輸出公共點 | 控制開關公共端 |
| 7 | 控制點輸出 B | 控制開關B輸出 |
| 8 | RS485 D- | RS485通訊數據- |
| 9 | RS485 D+ | RS485通訊數據+ |
模擬電壓輸出與真空壓強的關系為：
P = 101.222(U - C) 或 U = C + 0.818·log??(P)
其中：
P：真空壓強（Pa、mBar 或 Torr）
U：輸出電壓（V）
C：單位常數（Pa: 5.909；mBar: 7.545；Torr: 7.647）
設備頂部設有3個按鍵：FN、?（向前）、▼（向下）。
大氣壓強校準：長按FN至LED顯示“ATP”并閃爍，按?鍵，3秒內完成校準。
設置控制點A/B：長按FN至顯示“一”或“二”閃爍，用?選擇項目，▼調整數值，松開后自動保存。
單位選擇：長按FN至顯示“U”閃爍，按?循環切換Pa、Torr、mBar。
兩路獨立控制開關可在1.0×10?1 Pa ~ 9.9×10? Pa范圍內設置切換點。當真空壓強低于設定值時輸出“ON”，高于設定值110%時輸出“OFF”。
測量結果受氣體組分影響，出廠以干燥空氣/氮氣校準。其他氣體需乘以校正因子C：
| 氣體類型 | 校正因子 C |
|---|---|
| 空氣、O?、CO | 1.0 |
| N? | 1.0 |
| He | 5.9 |
| Ne | 4.1 |
| H? | 2.4 |
| Ar | 0.8 |
| Kr | 0.5 |
| Xe | 0.4 |
CX-PRN15 系列提供多種配置選項，可根據接口類型和電控功能進行選型，滿足不同應用需求。
| 參數 | 規格 | 備注 |
|---|---|---|
| 測量范圍（空氣, N?） | 1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa | 集成皮拉尼+熱陰極技術 |
| 精度 | 1.0×10?? ~ 1.0×10?? Pa：±35% 1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa：±30% 1.0×10? ~ 1.0×10? Pa：±50% | 基于空氣/N?校準 |
| 重復性 | 1.0×10?? ~ 1.0×103 Pa：±5% 1.0×10?3 ~ 1.0×10? Pa：±25% | - |
| 耐壓（絕對壓力） | 1.5×10? Pa | 最大允許壓力 |
| 反應時間 | < 100 ms | - |
| 工作溫度 | 0°C ~ +45°C | 濕度5~85%，不結露 |
| 存儲溫度 | -40°C ~ +75°C | 濕度5~90%，不結露 |
| 供電電源 | 24 VDC ±5% / 0.5A | 整機最大功耗 12.0W |
| 信號輸出 | 5位LED顯示（Pa/Torr/mBar） RS485 Modbus-RTU 0~10 VDC模擬輸 | - |
| 控制開關 | 2路獨立可設置開關 | 切換范圍：1.0×10?1 ~ 9.9×10? Pa |
| 防護等級 | IP40 | IEC529標準 |
| 真空接口 | 默認：DN25 ISO-KF | 其他接口可定制 |
| 接觸真空材料 | SS304不銹鋼，Kovar 4150，鎢絲，饋通玻璃 | - |
| 重量 | 450g（標準KF25法蘭） | - |
| 尺寸（H×W×D） | 130×60×50 mm | 包括KF25法蘭 |
測量結果受氣體組分影響，出廠以干燥空氣/氮氣校準。其他氣體需乘以校正因子C：
| 氣體類型 | 校正因子 C | 實際壓力 Peff = C × 顯示壓力 |
|---|---|---|
| 空氣、O?、CO | 1.0 | 與顯示值相同 |
| N? | 1.0 | 與顯示值相同 |
| He | 5.9 | 顯示值×5.9 |
| Ne | 4.1 | 顯示值×4.1 |
| H? | 2.4 | 顯示值×2.4 |
| Ar | 0.8 | 顯示值×0.8 |
| Kr | 0.5 | 顯示值×0.5 |
| Xe | 0.4 | 顯示值×0.4 |
根據您的應用需求選擇合適的型號配置：
| 應用場景 | 推薦配置 | 推薦理由 |
|---|---|---|
| 實驗室科研設備 | CX-PRN15A00（KF25） | 接口通用，功能完整，適合多種實驗需求 |
| 工業真空系統集成 | CX-PRN15B01（KF40） | 大口徑接口，成本優化 |
| 超高真空設備 | CX-PRN15C00（CF25） | CF法蘭密封性好，適合高真空環境 |
| 遠程監測應用 | CX-PRN15A00（標準配置） | 支持遠程數據采集 |
| 成本敏感型應用 | CX-PRN15A02（KF25 + 基礎功能） | 精簡功能，滿足基本測量需求 |
| 半導體制造設備 | CX-PRN15D00（CF35 + 全功能） | 大尺寸CF法蘭，適合工藝腔體集成 |
溫馨提示：以上為常規推薦配置，如需特殊定制（如其他真空接口、特殊材料、擴展功能等），請聯系我們的技術工程師提供定制化解決方案。
注意事項：對于混合氣體或蒸汽環境，建議使用殘余氣體分析儀（RGA）進行精確分壓強測量。
| 反應時間 | <100ms |
|---|---|
| 重量 | 450 g |
| 耐壓 | 1.5×10?Pa |
| 測量范圍 | 1.0×10?? Pa ~ 1.0×10? Pa |
| 防護等級 | IP40（IEC529） |
| 精度 | 1.0×10?? ~ 1.0×10?? Pa：±35% 1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa：±30% 1.0×10? ~ 1.0×10? Pa：±50% |
| 重復性 | 1.0×10?? ~ 1.0×103 Pa：±5% 1.0×10?3 ~ 1.0×10? Pa：±25% |
| 工作環境 | 0℃ ~ +45℃；濕度 5% ~ 85%，不結露 |
| 存儲環境 | -40℃ ~ +75℃；濕度 5% ~ 90%，不結露 |
| 真空接口 | 默認 DN25 ISO-KF，其他接口可定制 |
| 接觸真空材料 | SS304不銹鋼、Kovar 4150、鎢絲、饋通玻璃 |
注：以上參數為標準配置，可根據客戶需求定制特殊規格產品。
CX-PRN15 適用于多種需要寬范圍、高可靠性真空測量的工業與科研場合：
用于PVD、CVD、刻蝕等工藝腔體的真空度監測
適用于真空鍍膜、材料分析、表面科學等實驗室裝置
用于真空燒結、釬焊、退火等工藝的真空控制
用于凍干機、滅菌柜、生物反應器的真空監測
用于醫用真空泵、吸引裝置、消毒設備的真空控制
適用于包裝、注塑、電子束焊接等行業的真空監測
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